对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对检漏方法的要求：能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；对于容积较小的部件，气密性的检测设备，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作示踪气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。由于氦是惰性气体，对大气无污染，使用比较安全；而且氦的原子量小、粘度小，容易渗透过任何可能存在的漏隙，因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广；另外氦在大气中含量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，错判几率小。所以，与其它诸多检漏方法比，检漏具有的优越性。
在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，检漏仪在我国具体漏问题的解决上带来了更多的措施，在我国真空问题的检查之上这种检漏仪凭借着其强大的优势获得了更好的应用，检漏仪全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
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