质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，气密封检测设备，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。
检漏仪全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体剖析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为一种惰性气体，对设备无腐蚀性，对容器环境和质谱环境干扰小，因此常作为漏气体使用。消费者在选购检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求，并且在挑选检漏仪时注意这种设备的价格和操作模式，
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