一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；检漏仪的特点：检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
由于真空系统的多样性，检漏方法也各式各样，厂家也设计制造了许多专门用于检漏的仪器（真空检漏仪）。一．对检漏方法的一般要求检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，气密检漏设备，可以提高工作效率；能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；
检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作示踪气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。由于氦是惰性气体，对大气无污染，使用比较安全；而且氦的原子量小、粘度小，容易渗透过任何可能存在的漏隙，因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广；另外氦在大气中含量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，错判几率小。所以，与其它诸多检漏方法比，检漏具有的优越性。
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